分子式:C4F6
分子量:162
CAS 号:685-63-2
| 项目 | 指标 | ||
| 外 观 | 无色,,,,,,不污浊 | ||
| 六氟丁二烯含量 | ≥98% | ||
| 水份 | <50PPm(V) | ||
| N2 | <80PPm(V) | ||
| O2 | <20PPm(V) | ||
| CO2 | <20PPm(V) | ||
性 状: 易燃、有毒、无色、无味的刚瓶装液化压缩气体,,,,,,吸入有害,,,,,,与空气混淆后,,,,,,浓度抵达7%时,,,,,,有连忙燃烧和爆炸危险
用 途: 半导体的等离子蚀刻,,,,,,优良的干蚀刻气体。。。。。。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂
贮 存: 贮保存阴凉透风处,,,,,,容器坚持密闭。。。。。。贮保存原容器中的温度不凌驾50℃。。。。。。阻止阳光直射。。。。。。注重不要与氧化剂一起混贮。。。。。。远离烟火。。。。。。
运 输: 凭证压缩气体和液化气体有毒气体标准运输
包 装: 10L或47L钢瓶压缩包装,,,,,, 或依客户要求包装