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六氟丁二烯

分子式:C4F6
分子量:162
CAS 号:685-63-2

项目 指标
外 观 无色,,,,,,不污浊
六氟丁二烯含量 ≥98%
水份 <50PPm(V)
N2 <80PPm(V)
O2 <20PPm(V)
CO2 <20PPm(V)


性 状: 易燃、有毒、无色、无味的刚瓶装液化压缩气体,,,,,,吸入有害,,,,,,与空气混淆后,,,,,,浓度抵达7%时,,,,,,有连忙燃烧和爆炸危险
用 途: 半导体的等离子蚀刻,,,,,,优良的干蚀刻气体 。。。。。。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂
贮 存: 贮保存阴凉透风处,,,,,,容器坚持密闭 。。。。。。贮保存原容器中的温度不凌驾50℃ 。。。。。。阻止阳光直射 。。。。。。注重不要与氧化剂一起混贮 。。。。。。远离烟火 。。。。。。
运 输: 凭证压缩气体和液化气体有毒气体标准运输
包 装: 10L或47L钢瓶压缩包装,,,,,, 或依客户要求包装

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