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六氟丁二烯
分子式：C4F6
分子量：162
CAS 号：685-63-2
| 项目 | 指标 | ||
| 外 观 | 无色，，， ，，不污浊 | ||
| 六氟丁二烯含量 | ≥98% | ||
| 水份 | ＜50PPm（V） | ||
| N2 | ＜80PPm（V） | ||
| O2 | ＜20PPm（V） | ||
| CO2 | ＜20PPm（V） | ||
性 状： 易燃、有毒、无色、无味的刚瓶装液化压缩气体，，， ，，吸入有害，，， ，，与空气混淆后，，， ，，浓度抵达7%时，，， ，，有连忙燃烧和爆炸危险
用 途： 半导体的等离子蚀刻，，， ，，优良的干蚀刻气体。。。。。。。。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂
贮 存： 贮保存阴凉透风处，，， ，，容器坚持密闭。。。。。。。。贮保存原容器中的温度不凌驾50℃。。。。。。。。阻止阳光直射。。。。。。。。注重不要与氧化剂一起混贮。。。。。。。。远离烟火。。。。。。。。
运 输： 凭证压缩气体和液化气体有毒气体标准运输
包 装： 10L或47L钢瓶压缩包装，，， ，， 或依客户要求包装
