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电子级氢氟酸

分子式:HF 分子量:20.01

产品标准:GB620-2011

 

级别 制程手艺 (um) 应用领域 金属杂质 (ppb) 微粒子 (个/ml)
EL >1.2 光伏;;;;;;;TFT显示屏LED ≦100 ≦25(≧1.0um )
UP 0.8-1.2 光伏;;;;;;;LED;;;;;;;玻璃薄化;;;;;;;显示屏;;;;;;;IC芯片<6” ≦10 ≦25(≧0.5um )
UPS 0.2-0.6 LED;;;;;;;显示屏;;;;;;;IC封装;;;;;;;IC芯片≦6” ≦1 ≦5(≧0.5um )
UPSS 0.09-0.2 IC芯片8”;;;;;;;12” ≦0.1 (100ppt) ≦200(待议)( ≧0.2 um)
UPSSS 0.014-0.09 IC芯片12” ≦0.01 (10ppt) ≦20(≧0.1um)、≦10(≧0.2um)

 

性 状:无色透明溶液,,,,,,有强烈刺激性气息,,,,,,剧毒,,,,,,并有强烈的侵蚀性。。。。。。。

用 途:用于化工、冶金、玻璃、矿山和石油开采、光伏、原子能工业化学试剂、超高纯氢氟酸应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的洗濯和蚀刻 。。。。。。。

贮 存:防潮、密封生涯,,,,,,贮存于透风优异的库房中。。。。。。。

运 输:运输中作为一级无机酸性侵蚀物品。。。。。。。

包 装:依用户要求充装。。。。。。。

 

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